在上一期《名家專欄》中，我們深入了解基于超寬帶極紫外工藝的散射測量技術(shù)的應(yīng)用情況，為應(yīng)對3D晶體管（如GAA）的制造挑戰(zhàn)，基于HHG光源的極紫外散射測量技術(shù)憑借其短波長、強去相關(guān)性和卓*的3D探測能力，成為實現(xiàn)納米級精確測量的下一代核心方案。本期主要圍繞納米尺度熱管理的挑戰(zhàn)和一種創(chuàng)新的測量技術(shù)——極紫外瞬態(tài)光柵技術(shù)，了解其神秘奧義。

納米尺度的熱管理成為當前的一個重要前沿課題，比如集成電路先進封裝中的熱傳輸，用于能量收集的熱電技術(shù)、納米粒子介導的熱療、納米增強光伏等。目前大致的理解是納米尺度材料特性例如彈性、熱導率或熱容主要由集體晶格動力學決定，而這些動力學表現(xiàn)出強烈的尺度依賴性[Photoacoustics, 2023, 29: 100453]，取決于特征尺度與熱載流子平均自由程（MFP），分布之間的關(guān)系。當特征尺寸遠大于聲子平均自由程時聲子的傳輸是擴散性的，在相反的極限下聲子會以彈道運動而不會發(fā)生碰撞，熱源的散熱速率將顯著低于傅里葉擴散傳熱定律的預測值。

納米尺度的材料特性探測，必須關(guān)注兩個參數(shù)：樣品尺寸(b，目前可以控制在亞納米尺度)和所研究現(xiàn)象的特征波矢(Q)[ACS Appl. Nano Mater. 2019, 2: 5132?5139]。此前在微米長度尺度上，使用光學技術(shù)（例如熱反射和光學瞬態(tài)光柵TG）已經(jīng)報道了其傳熱過程與擴散行為的偏差，但是光學TG研究僅限于相對較低的 Q 值（≈1μm?1）。為了探索亞微米厚樣品中涵蓋從長波到體響應(yīng)的轉(zhuǎn)變的Q·b范圍，需要EUV TG分析方可利用的更大Q值范圍。自由電子激光 (FEL) 提供了高亮度的 EUV 脈沖，從而可以將非線性光學技術(shù)擴展到更短的波長，其中包括TG光譜。圖1首*用FEL EUV光脈沖產(chǎn)生的瞬態(tài)光柵，結(jié)合一束可見光研究了四波混頻（FWM）的非線性過程，表明了用EUV這種極*光波長產(chǎn)生TG的可行性[Nature, 2015, 520: 205]。

圖1 使用FEL EUV產(chǎn)生TG進行四波混頻（FWM）實驗[Nature, 2015, 520: 205]。a、基于 FEL 的 FWM 實驗示意圖，兩束λEUV產(chǎn)生EUV TG，CCD 傳感器放置在 FWM 信號光束 (kFWM) 的預期傳播方向上，該方向由“相位匹配"決定（如圖 b 所示；其中 kopt、kEUV1 和 kEUV2 分別為光脈沖和兩束 FEL 脈沖的波矢）。

Naumenko等人報告了使用EUV TG測量57 nm厚碳化硅(SiC)薄膜在Q大于1 um-1情況下的機械和熱響應(yīng)[ACS Appl. Nano Mater. 2019, 2: 5132?5139]。SiC是一種重要的第三代半導體材料，可用于新型高功率半導體器件，同時在基礎(chǔ)科學和應(yīng)用科學領(lǐng)域都有廣泛的研究。其熱響應(yīng)的特征時間尺度與預期存在較大偏差，這意味著在小尺寸下擴散區(qū)可能容易被擊穿，因此利用EUV TG對該薄膜進行納米級熱彈性性質(zhì)進行完整的表征非常重要。從圖2中可以看出，接近Δt = 0時光學和 EUV 探針突顯了明顯的差異。光學探針獲得的數(shù)據(jù)特點是ITG急劇增加，然后快速衰減，具有緩慢的調(diào)制；而EUV 探針獲得的波形僅在Δt = 0附近顯示小的“階躍狀"行為。這是因為光學探測對激發(fā)產(chǎn)生的電子空穴對非常敏感，即對EUV TG相互作用突然產(chǎn)生的電子激發(fā)的布居光柵非常敏感。而在EUV探測的TG中，折射率變化主要由總電子密度的變化決定，因為EUV 波長遠*任何電子-核共振。因此，光學探測的EUV TG實驗中觀察到的快速電子衰變涉及許多過程：電子-聲子耦合、俄歇復合、碰撞電離、擴散、電荷俘獲等，對每個過程的動力學評估都需要詳細研究。

從圖2中可以看出，在Δt> 2 ps 時，兩條曲線均顯示出清晰的調(diào)制，這歸因于類聲子振蕩疊加在熱弛豫引起的緩慢指數(shù)衰減上。當Q = 0.023 nm?1和0.075 nm?1時，τT分別為216±18ps和130±32ps。當Q=0.023nm?1時，它們對應(yīng)于38±5GHz和88±6 GHz（圖2（c））；而當Q=0.075 nm?1時，它們對應(yīng)于75±12 GHz、105±14 GHz、152±6 GHz和225±11 GHz（圖2（d））。這些振蕩頻率值與超薄SiC板中激發(fā)的長波模式在相應(yīng) Q·b 值下的預期頻率非常匹配。這也顯示了超快探測在高時間分辨率上的重要意義。

圖2 (a) 57 nm 厚 SiC 膜上 ITG 的時間演化，Q = 0.075 nm?1（藍色曲線）和 0.023 nm?1（紅色曲線）。圖 b 顯示了 TG 信號中聲子調(diào)制和熱衰減（黑線）在擴展的 Δt 范圍內(nèi)的變化。圖 c 和 d 顯示了圖 b 中報告的波形在扣除緩慢熱衰減后的傅里葉變換 (FT)[ACS Appl. Nano Mater. 2019, 2: 5132?5139]。

Kathleen M. Hoogeboom-Pot等人揭示了一種納米尺度熱傳輸?shù)男聶C制（如圖3所示）：與直覺相反，納米尺度熱源彼此靠近時冷卻速度比彼此遠離時更快[PNAS, 2015, 112(16): 4846–4851]。當納米尺度熱源之間的距離與主要載熱聲子平均自由程（MFP）相當時，這種冷卻效率的提升是可能的。這一發(fā)現(xiàn)為解決納米系統(tǒng)熱管理這一重大挑戰(zhàn)提供了新方法，對集成電路、熱電器件、納米粒子介導的熱療法以及用于改進清潔能源技術(shù)的納米增強光伏技術(shù)的設(shè)計具有重要意義。

圖3 納米尺度熱傳輸由三個特征尺度決定[PNAS, 2015, 112(16): 4846–4851]：熱源尺寸 L、熱源間距 P 以及載熱聲子的 MFP Λi。(A) 當所有 MFP 都小于 L 時，散熱完*來自擴散效應(yīng)。(B) 當 L 收縮時，長 MFP 聲子呈彈道狀傳播，相對于擴散預測，散熱速率有所降低，此時短 MFP 聲子仍保持擴散性。(C) 當 L 和 P 同時減小，來自相鄰熱源的長 MFP 聲子會像來自單個大型熱源一樣相互作用，從而實現(xiàn)更高效的擴散式傳熱。

人物介紹

曾志男，上海光機所研究員，其團隊長期從事高次諧波（HHG）和阿秒超快方面研究，參與建設(shè)上海*強超短激光裝置（SULF）等，發(fā)表 SCI 論文 80 余篇，編撰專著《阿秒激光技術(shù)》，先后獲得基金委“優(yōu)秀青年基金"和國家科技創(chuàng)新領(lǐng)*人才的資助。